總結(jié)精密位移工作臺定定位控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)技術(shù)報(bào)告

添加時間：2016-7-3 5:35:38 作者：浙江金科機(jī)械傳動有限公司

1 精密位移工作臺系統(tǒng)的原理與結(jié)構(gòu)
x-y精密位移工作臺的閉環(huán)控制系統(tǒng)由x-y工作臺、步進(jìn)電機(jī)、光柵尺、控制電路和計(jì)算機(jī)組成.如圖1所示,在x-y工作臺的x方向,步進(jìn)電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)帶動絲杠旋轉(zhuǎn),驅(qū)動工作臺移動;同時在工作臺的另一端,計(jì)量光柵的測桿接收到工作臺的位移信號,控制電路對計(jì)量光柵的輸出信號進(jìn)行細(xì)分、辨向和計(jì)數(shù)處理;在軟件中計(jì)算出工作臺的實(shí)際位移后,對實(shí)際位移與目標(biāo)位移量進(jìn)行比較,用二者之間的差值去控制步進(jìn)電機(jī)的精確定位.對于x-y工作臺的y方向的驅(qū)動也是如此.工作臺采用共運(yùn)動基面設(shè)計(jì),承載工件的工作臺在x、y向移動時,始終貼著陶瓷精密平板上表面運(yùn)動,使運(yùn)動平面有較高的平面度.

2 精密位移工作臺的工作原理
精密位移工作臺主要利用光柵莫爾條紋原理來實(shí)現(xiàn).精密位移工作臺的輸入量是機(jī)械位移,輸出量一般是與莫爾信號周期對應(yīng)的脈沖信號.計(jì)量光柵傳感器也可以直接輸出模擬的莫爾信號.高倍數(shù)細(xì)分需要光柵傳感器輸出莫爾信號.當(dāng)計(jì)量光柵傳感器輸入位移量的變化速度恒定時,輸出莫爾信號近似為正弦波,由于一個光柵傳感器輸出的兩路正交莫爾信號包含了位移的全部信息,所以通過對兩路正交莫爾信號的直接測量.可以獲得所需要的位移值.假設(shè)從光柵尺出來的兩路信號經(jīng)過放大和去直流后為va=sinθ,vb=cosθ, va、vb信號是模擬信號,經(jīng)過過零處理后變?yōu)閮陕废嗖顬?0°的方波信號a、b,一個周期方波信號對應(yīng)著莫爾條紋交替變化一次,對方波進(jìn)行計(jì)數(shù),可實(shí)現(xiàn)對位置的測量.同時,對方波信號進(jìn)行倍頻細(xì)分,可提高測量的分辨率.

3 精密位移工作臺的定位控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
精密位移工作臺定位控制系統(tǒng)總的操作由計(jì)算機(jī)完成.首先設(shè)置目標(biāo)位移量,計(jì)算機(jī)通過i/o接口控制步進(jìn)電機(jī)的運(yùn)動,同時光柵尺對精密工作臺的位置進(jìn)行實(shí)時檢測,并將檢測到的實(shí)際位移信號反饋回計(jì)算機(jī)中,與目標(biāo)位移量進(jìn)行比較,其差值作為新的控制量進(jìn)一步驅(qū)動步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行移動定位,直到達(dá)到所要求的定位精度為止.
從計(jì)量光柵得到的工作臺的實(shí)際位移與目標(biāo)位移相比較,如果差值滿足允許誤差,則進(jìn)入下一步的驅(qū)動,完成定位;如果差值不滿足允許誤差,則要根據(jù)差值調(diào)整工作臺的位置,如此循環(huán),直到滿足允許誤差.