基于二維精密微調平臺的設計分析

添加時間：2016-7-5 7:03:58 作者：浙江金科機械傳動有限公司

隨著納米技術的興起和飛速發(fā)展,基于壓電陶瓷驅動的納米級微定位技術已成為能束加工、超精密加工、微操作系統(tǒng)等前沿技術的基礎支持技術。以柔性鉸鏈為傳動機構的微動工作臺具有結構緊湊,質量輕,傳動無間隙,無機械摩擦,位移分辨率高等特點。壓電陶瓷驅動器(pzt)具有體積小,分辨率高,承載能力強等優(yōu)點。使用pzt控制簡單,易實現亞微米甚至納米級的精度,且不產生熱量和噪聲,已被廣泛用于要求具有納米級定位分辨率的技術領域。本文以雙柔性平行四桿為基礎,通過參數化分析求出對工作臺固有頻率影響較大的參數,并計算出其變化趨勢。從理論和實驗兩方面對工作臺固有頻率特性進行研究,并從微動臺整個系統(tǒng)出發(fā),考慮精密微調平臺的設計,提出一種新的設計方法,為設計具有高分辨率的精密微調平臺提供了理論和實驗依據。
1 精密微調平臺（m.puot.cn）的結構
精密微調平臺（m.puot.cn）采用平面一體式結構,由一塊不銹鋼板經由線切割而成,具有結構緊湊,無間隙,無摩擦,各部分熱膨脹系數相等的優(yōu)點。如果加工和裝配完全對稱,微動工作臺便能產生嚴格的直線運動,從原理上克服了交叉耦合位移現象。
2 精密微調平臺（m.puot.cn）的設計分析